MYKROLIS CMX45 Digitales Kapazitätsmembranmessgerät

Die MykrolisCMX45Das digitale Kapazitäts-Membranmessgerät ist ein Präzisions-Vakuummessgerät, das für die genaue Drucküberwachung in Hochleistungs-Industrie- und Halbleiteranwendungen entwickelt wurde. Dieses Messgerät unterstützt mehrere Skalenendbereiche, darunter 0,1, 1, 2, 10, 20, 100 und 1000 Torr, und deckt eine Messspanne von bis zu vier Dekaden ab 0,02 % des Skalenendwerts pro Grad sorgen für eine gleichbleibende Leistung unter unterschiedlichen Umgebungsbedingungen. Es verfügt außerdem über einen Überdruckschutz für bis zu 17 psia oder 125 % des Skalenendwerts, je nachdem, welcher Wert größer ist. Für die Signalausgabe bietet das analoge Modell einen 0–10 VDC-Ausgang, der eine Last von 5 kΩ antreiben kann. Das Gerät unterstützt außerdem eine 15-polige männliche D-Sub-Schnittstelle mit einer Schaltleistung von 1 A bei 30 VDC oder 0,3 A bei 125 VAC und ermöglicht so eine flexible Integration in Steuerungssysteme. Mit seinem großen Messbereich, seiner hohen Stabilität und seinem robusten Schnittstellendesign ist der MykrolisCMX45Das digitale Kapazitätsmembranmessgerät eignet sich gut für die Vakuumprozesssteuerung, die Halbleiterfertigung und industrielle Instrumentierungsanwendungen, die eine präzise und zuverlässige Druckmessung erfordern.

Modell:CMX45
Produkttyp: Digitales Kapazitäts-Membranmessgerät (CDG)
Volle Skalenbereiche: 0,1, 1, 2, 10, 20, 100, 1000 Torr
Messbereich: 4 Jahrzehnte
Temperatureffekt auf Null: 0,002 % FS/Grad
Temperatureinfluss auf die Messspanne: 0,02 % FS/Grad
Überdruckgrenze: 17 psia oder 125 % des Skalenendwerts, je nachdem, welcher Wert größer ist
Analoge Modelle: Analog (010 V DC, 5 kΩ Last) – Ja
Verfügbar an der 15-poligen Sub-D-Stecker-Schnittstelle: 1 A bei 30 V DC/0,3 A bei 125 V AC
Genauigkeit: Typischerweise bis zu ±0,15 % des Messwerts (mittlerer/hoher Bereich)
Ausgangssignal: Analog 0–10 VDC / optionale digitale Kommunikation
Stromversorgung: ±15 VDC oder 24 VDC
Analog: 9-poliger Sub-D-Stecker oder 15-poliger Sub-D-Stecker
RS485: 2,5-mm-Minibuchse
DeviceNet: 5-poliger Eurofast (DeviceNet) und 9-polige Sub-D-Buchse (analog)

►Manager:VickyE-Mail:sales7@apterpower.comAnruf oder WhatsApp:+8618030175807

1. Hochpräzise Vakuummessung: DieCMX45dient als leistungsstarkes digitales kapazitives Membranmessgerät, das außergewöhnlich genaue absolute Vakuummessungen liefert, die völlig unabhängig von der spezifischen Gaszusammensetzung in der Kammer bleiben.
   
2. Optimierte Wartung über den gesamten Lebenszyklus: Der Sensorkopf und die interne Elektronik sind auf Langlebigkeit ausgelegt und so konstruiert, dass die Gesamtbetriebskosten gesenkt werden, indem die Wartungsintervalle zwischen den Wartungszyklen in Anlagen mit hoher Auslastung verlängert werden.
3. Erweiterte Stabilität und Driftreduzierung: Durch die Implementierung vonCMX45können Prozessingenieure eine fortschrittliche digitale Signalverarbeitung nutzen, die die Messdrift erheblich reduziert, Langzeitstabilität gewährleistet und die Notwendigkeit einer häufigen Neukalibrierung in kritischen Umgebungen minimiert.
4. Widerstandsfähigkeit gegen raue Umgebungen: Hergestellt aus hochwertigen, korrosionsbeständigen MaterialienCMX45wurde speziell entwickelt, um den aggressiven chemischen Atmosphären standzuhalten, die in modernen Halbleiterfertigungs- und Dünnschicht-Abscheidungssystemen vorkommen.
5. Nahtlose Systemintegration: Die stabile digitale Architektur des Geräts ermöglicht eine einwandfreie Integration in bestehende Vakuumbeschichtungsarchitekturen und liefert zuverlässiges Feedback für automatisierte Druckregelkreise.

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